李興沒有說大話,第二天他就拿著一份方案找到了鄭南。
「鄭廠長,我認(rèn)為現(xiàn)在無法推進(jìn)更高制程的主要原因,除了一個是光刻技巧外,還有更重要一點就是無法制作相應(yīng)的光掩模?!?br/>
接觸式光刻的原理就是用光這把刻刀透過光掩模這塊遮光板,把想要的芯片圖案1:1等比例投射在下面的硅片上。
也就是說下面芯片能做出多精細(xì)的制程,首先得取決于你能做出多少的光掩模,你不可能拿一張一毫米的光掩模做出10微米的芯片來,相反你要是能拿出一微米的光掩模,也未必不能做出一微米制程的芯片。
「光刻技巧這方面我不懂,所以給不出任何建議,但對于更精細(xì)光掩模的制作,我卻有一個好想法?!?br/>
「我看過無線電廠的光掩模制作,都是直接拿刻刀在光掩模玻璃上刻畫,這種技術(shù)注定無法往更精細(xì)推進(jìn),而我的想法是如果我們能用一臺高清相機(jī),先把芯片圖紙拍下來,利用相機(jī)的縮放技術(shù)曝光在底片上,再想辦法把底片做成光掩模,就能得到一張高精度制程光掩模了?!?br/>
鄭南很有興趣:「李主任你可以呀,這想法可太好了!」
的確,相機(jī)的工作原理就是將一幅大畫面縮放儲存在一張一寸大小的底片上,那么現(xiàn)在如果把芯片圖紙利用這個原理縮放到底片上,確實可以得到一張微米級別的光掩模。
「不過這里有兩個問題,一是縮放比例,多大的圖紙經(jīng)過相機(jī)多少倍縮放比例能得到一張合適的底片;二則是這種相機(jī)底片怎么做光掩模,材料都不一樣吧。」鄭南提出自己的擔(dān)心。
李興卻大手一揮表示這都有辦法解決,第一點他可以周密計算,同時也要多做實驗。
而第二點就更簡單了,李興說底片的材料跟光掩模天然接近,幾乎不用做太多處理就能直接使用。
鄭南點頭表示理解,就跟現(xiàn)在學(xué)校里用的那種投影幻燈片一樣的原理。
「現(xiàn)在最大的問題是相機(jī)?!估钆d說,「因為這一步最重要的是在底片上留下紋理分明的圖案,必須要高清相機(jī)才行,普通的家庭相機(jī)根本達(dá)不到目標(biāo)?!?br/>
李興不好意思看了鄭南一眼表示可能還得去麻煩許主任:「畢竟這種高清相機(jī)只可能電視臺才有?!?br/>
鄭南點頭表示沒問題:「我待會就給她打電話,能借就借,不能借我們就租,或者通過許主任那邊的關(guān)系買,因為這東西以后要用的時候會挺多。」
說完李興這邊的事情,鄭南也拿出了自己的筆記本遞出去:「李主任你看看這是我昨天晚上想的一種投影式光刻機(jī)構(gòu)造,你看下能不能實現(xiàn)?!?br/>
李興那邊在努力,鄭南也同樣沒閑著。
或許鄭南不是芯片工程師,但得益于后世的信息大爆炸,尤其后世又是在光刻機(jī)上被卡脖子的時代,因此各種關(guān)于光刻機(jī)的科普視頻滿天飛,鄭南也真真假假看了一腦袋。
現(xiàn)在李興在升級光刻機(jī)技術(shù)上遇到了瓶頸,自己怎么樣都得拿出點東西來,要不然就太對不起重生者的身份了。
別人重生都抄歌抄詩詞,自己抄個光刻機(jī)構(gòu)造不過分吧。
況且自己這也是為了華夏芯片的崛起而抄,是有理想的!
李興才拿起來,然后就傻眼了,好半天才苦笑著說一句:「鄭廠長的繪畫技藝有點哲學(xué)?!?br/>
鄭南老臉一紅,這才想起自己根本沒有繪畫功底,畫出來的東西都很抽象,不像李興和周敏德這些人,鄭南是真不知道他們畫出來的圖紙怎么就能那么工整,搞的跟照相下來的一樣。
難道這年頭做工程師還需要先學(xué)會繪畫嗎?
「不要在意這些細(xì)節(jié),李主任你主要看看我的構(gòu)想,通過類似潛
望鏡的光學(xué)反射折射原理,就能把掩膜版從光刻膠上拿起來,跟看電影一樣投影到硅片上?!?br/>
鄭南想了想接著說道:「這是我在寧海一次偶然機(jī)會聽說的,大概是這個邏輯,李主任你看看對不對?!?br/>
李興認(rèn)真盯著鄭南的筆記本看了好一會,然后拿起辦公桌上的紙和筆,又重新畫了一幅設(shè)計方案。
鄭南只看一眼就高興道:「沒錯,這就是我想畫的!」
李興抬頭:「鄭廠長這份光刻機(jī)設(shè)計方案您是在哪聽到的?」
鄭南一愣:「就在光學(xué)儀器廠,那時小鬼子正要收購儀器廠,小鬼子那家企業(yè)正好也是做光刻機(jī)的,那是一個巧合他們打電話,以為我聽不懂英語,沒避諱我,我才聽到的。」
鄭南一字一頓的說著,中間還磕磕絆絆,顯然就是現(xiàn)編的,不過緊接著鄭南馬上問:「是這設(shè)計方案有什么問題嗎?」
李興連連搖頭:「不,非但沒有任何問題,相反這份方案簡直太好啦!」
「或許看起來還有點簡陋,但不可否認(rèn),這已經(jīng)是下一代投影式光刻機(jī)十分成熟的設(shè)計方案啦!」李興激動萬分,「鄭廠長您簡直就是天命之子呀!」
鄭南松口氣,沒問題就好,鄭南真怕自己憑著印象畫,結(jié)果給批的一文不值,現(xiàn)在看來還是可以的。
「那能不能就這套方案繼續(xù)研究,我們爭取把下一臺光刻機(jī)升級一下?」鄭南詢問。
李興點頭表示理論上可以:「只是這一次的鏡頭就不夠用了,還缺幾塊全反射鏡?!?br/>
鄭南毫不猶豫馬上撥通了寧海光學(xué)儀器廠的電話,讓人去喊了車間里的莊衛(wèi)。
莊衛(wèi)急急忙忙跑來,聽了鄭南的要求松口,原來只是全反射鏡,他還以為是光刻機(jī)鏡頭壞了,于是很豪爽道:「全反射鏡很容易弄,沒有過多的加工,主要在涂層上,如果鄭經(jīng)理你需要,我今天就可以做出至少三十塊給江夏寄過去?!?br/>
李興在旁興奮的連連點頭。
鄭南于是告訴莊衛(wèi)讓他先寄三十面全反射鏡過來。
掛斷電話的一瞬間,李興高興的都要跳起來了,興奮的手舞足蹈:「太好啦!有這些全反射鏡我就有機(jī)會開發(fā)出投影光刻機(jī),比65光刻機(jī)更先進(jìn),不需要接觸的高級光刻機(jī)啦!」
鄭南很能理解李興的興奮,畢竟如果可以的話,哪個工程師會愿意考古過去的產(chǎn)品,哪個工程師不想開發(fā)新產(chǎn)品呢?
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