“咱們真的要把光刻機(jī)給拆開？”
凈室內(nèi)，白馬的雙手都在忍不住顫抖。
這玩意一臺價(jià)值千萬，全華夏都只有那么屈指可數(shù)的幾臺，不得不說王向中是真的會玩。
“不拆怎么行，不拆，怎么學(xué)習(xí)人家的先進(jìn)技術(shù)？”王向中笑道，手上那可是一刻都沒閑著。
此時(shí)的他正帶領(lǐng)著幾個(gè)研究生，拿著螺絲刀和扳手，正在一絲不茍地拆卸著眼前的康尼光刻機(jī)。
盡管李東對此事表示萬分反對，但在王向中的威逼利誘之下，他也不得不接受這一切，畢竟條件太誘人了——免費(fèi)的工藝提升，又有誰能拒絕這個(gè)條件呢？
但一下子要讓廠里損失五分之一的產(chǎn)能，每個(gè)月?lián)p失高達(dá)數(shù)百萬，這也讓李東心痛不已，但是一想想晶華的未來，他最終還是忍了下來。
將防震裝置卸下，撬開光刻機(jī)上的鋼制蓋子，其中的透鏡組以及工作臺便露出了水面。
“我們現(xiàn)在不著急把透鏡組拆開，我們先通過廠里留存的數(shù)據(jù)和物鏡組的物理結(jié)構(gòu)，畫一個(gè)模型，測算一下理論數(shù)據(jù)?！?br/>
王向中指著透鏡組說道。這款尼康NSR-1010g的透鏡組高約1.2米，直徑約在10-20厘米范圍之間，與后世出現(xiàn)的DUV光刻機(jī)鏡頭不同，它整體呈現(xiàn)一個(gè)兩頭細(xì)、中間粗的樣式。
這是一組典型的遠(yuǎn)心鏡頭設(shè)計(jì)，遠(yuǎn)心鏡頭設(shè)計(jì)的好處就是它可以在一定的物距范圍內(nèi)，使得到的圖像放大倍率不會變化，這對被投影物不在同一物面上的情況是非常重要的應(yīng)用。
透鏡組中含有17塊直徑大小、球面曲率皆是有所不同的凸透鏡和凹透鏡，其中部分球面鏡可以使用位置調(diào)節(jié)功能，用于調(diào)整透鏡的散射和誤差。
因?yàn)樵诠饪踢^程中，當(dāng)激光通過透鏡組時(shí)，透鏡本身還會吸收激光本身的部分能量，導(dǎo)致透鏡受熱膨脹，最終使其密度發(fā)生變化，折射率改變。
因此在這根透鏡組管上，還有不少預(yù)留于通風(fēng)的管道和加熱裝置，用于給鏡片散熱和加熱，讓焦深保持穩(wěn)定狀態(tài)。
正當(dāng)王向中解釋著鏡頭時(shí)，不少研究生已經(jīng)開始用卷尺和游標(biāo)卡尺測量記錄參數(shù)、模擬畫圖了。
他給在坐的研究生們詳細(xì)介紹了一番光刻機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和原理，幾乎是如同信手拈來一般流暢，瞬間也是扳回了不少印象。
原本他們還以為王向中只是個(gè)憑借背景，不學(xué)無術(shù)的小屁孩，沒想到在理論研究上造詣竟然如此之高，因此眾人自然是會對他高看幾分。
現(xiàn)在看來，把劉兵這種人物趕走顯然也是有他自己的道理。
“說了這么多，但畢竟我不是光學(xué)和材料學(xué)的專業(yè)人員，有些事情還得靠你們。我們拿不到康尼公司給到的具體數(shù)據(jù)，因此只能是自己動手驗(yàn)證。”王向中嘆了一口氣道。
但是研究生們似乎壓根不理會王向中的言論，只是近距離地觀摩研究著這美輪美奐的精致設(shè)計(jì)，還不時(shí)發(fā)出贊嘆之聲。
“這些鏡頭的材料都是氟化物晶體，據(jù)我推測，康尼的物鏡大概使用的是特殊合成石英，這種材料的透光率極高，國內(nèi)暫時(shí)還搞不到?！?br/>
“目前來講，有兩種方案，第一種是加鏡片，通過在狹小的空間內(nèi)加入更多的鏡片，從物理層面提升它的數(shù)值孔徑；第二種是改裝投影物鏡鏡頭裝置，通過技術(shù)層面來增加數(shù)值孔徑。”
“受專業(yè)限制，我不知道哪種方法更現(xiàn)實(shí)，所以還要請各位師兄結(jié)合實(shí)際，驗(yàn)證一下這兩項(xiàng)方案的可行性。”王向中補(bǔ)充道。
對于大數(shù)值孔徑光刻投影物鏡來說，除了完善的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案外，關(guān)鍵在于光學(xué)加工、裝校、調(diào)整以及相關(guān)的測試。投影光刻物鏡鏡頭裝配的最終目標(biāo)是嚴(yán)格按照理論設(shè)計(jì)的要求保證鏡頭中每個(gè)鏡片的相對空間位置精度，其中最主要的是沿光軸方向的空氣間隔和相鄰鏡片之間的偏心誤差，對光學(xué)元件的空氣間隔和偏心誤差的檢測精度往往在1/5到1/10微米之間。
“我認(rèn)為第二種方法更可行。”此時(shí)，一個(gè)青年男子從人群中站起身來，“我是江超，和劉兵一樣，都是物理系吳光教授手下的博士研究生，目前正在讀博一，他是我的師兄?！?br/>
“第一種方案顯然不太可行，康尼這款光刻機(jī)的整體鋼骨架是固定的，加入更多的鏡片就意味著相應(yīng)的透鏡組整體長度也要增加不少，要想把數(shù)值孔徑提高到0.5，需要至少25片透鏡，這個(gè)不太現(xiàn)實(shí)?！?br/>
“雖然設(shè)計(jì)上的難度其實(shí)不是特別大，從雙高斯入手，一段段分裂透鏡，改進(jìn)足夠久后總可能得到一個(gè)不錯(cuò)的結(jié)構(gòu)形式。”
“但在投影光刻物鏡鏡頭裝配的過程中，子鏡筒裝配、鏡筒級聯(lián)裝配、鏡片偏心和空氣間隔的檢測以及單個(gè)鏡片的位置調(diào)整等步驟是一個(gè)反復(fù)迭代進(jìn)行的過程。并且鏡片的空間位置檢測以及單個(gè)鏡片的位置調(diào)整具有相當(dāng)高的實(shí)時(shí)性要求?！?br/>
“最重要的一點(diǎn)，”江超深深地嘆了一口氣，愁容滿面道：“我們搞不到鏡片?！?br/>
眾人聽到江超的一番話，皆是陷入了沉思之中。
的確如江超所言，光刻機(jī)鏡頭的最大難度不在設(shè)計(jì)，而在于工藝實(shí)現(xiàn)這一步，不僅是材料很難搞，合成石英需要降應(yīng)力、提純度、去氣泡條紋，還有超高面型精度的鏡片加工，打磨、測量、裝配等等工作都夠他們一群人吃一壺了。
所以應(yīng)用現(xiàn)有的鏡頭結(jié)構(gòu)，通過部分技術(shù)參數(shù)的調(diào)整，同樣也可以實(shí)現(xiàn)數(shù)值孔徑提高的要求。
“我有一個(gè)大膽的想法，斗膽一說，還請大家多多分辨分辨?！苯{(diào)整了一下護(hù)目鏡，“我們可以嘗試在照明上多做一些功夫，比如采用離軸照明法、四極照明法，環(huán)形照明法或者是傾斜照明法?！?br/>
“當(dāng)然鏡頭上也要有改進(jìn)，通過對溫度、氣壓補(bǔ)償來實(shí)現(xiàn)倍率補(bǔ)償，從而改善線寬質(zhì)量和提高分辨率！”